元智大學研究團隊獲國科會補助加速半導體綠色化發展

【國立教育廣播電臺/石耀宇/臺北】

元智大學機械系鐘國濱教授團隊規劃先進質子交換膜水電解技術，製低碳臭氧水系統，創新應用於晶圓清潔製程，取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用，實踐半導體製程綠色化，獲得國科會科研創業計畫萌芽案，也是在眾多生醫題材中，唯一與半導體產業接軌的科研創業計畫。

鐘國濱教授團隊將純水以低電壓製取臭氧，具備低能耗與製程簡單優勢。鐘國濱教授表示，半導體晶圓製造過程中如蝕刻、沉積、去光阻等，皆對晶圓表面造成汙染，進而影響晶圓品質與製程進行。目前業界解決成熟晶圓製程表面汙染使用的清潔製程為溼式法，透過使用硫酸、氫氟酸及氫氧化銨等化學藥劑處理晶圓表面汙染，再使用大量去離子水洗滌，以避免殘留問題；然此清潔製程將導致大量水資源使用與化學藥劑汙染環境與傷害人體的問題。（待續）

20230315