2022台灣創新技術博覽會 元智大學獲佳績

【台灣好新聞/記者陳華興/桃園報導】

元智大學團隊參加2022台灣創新技術博覽會,嶄露豐碩成果,超過 500件專利技術作品競逐獎項,勇奪4金2銀1銅及1件鴻海企業特別獎,成績表現亮眼。元智大學化材系何政恩教授團隊共獲2面金牌、1面銀牌及1件鴻海企業特別獎。發明專利金牌獎分別為「奈米雙晶結構」及「高速電鍍方法」,銀牌獎與電機系黃建彰教授共同提申的「在訊號傳導時降低介入損耗的導線結構及其方法」,其中「奈米雙晶結構」專利脫穎而出,榮獲獲獎率低於百分之一的鴻海企業特別獎。

何政恩表示,為滿足電子工業對元件更快速及更小封裝體積的追求,在晶片載板及整合扇出型(integrated fan-out, InFO)電子封裝產品中往往佈滿許多高密度互連的銅導線。隨導線細微化的發展,電鍍銅物化特性的提升已成為相當重要的一門課題。此專利技術提出奈米雙晶結構(nanotwinned structure),其特徵為具有少於50%的表面係以(111)結晶面作為擇優取向(preferred orientation)。可應用於鍍通孔(PTH)、通孔/盲孔填充物、矽晶穿孔(TSV)填充物、銅導線、或散熱元件等。(待續)

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【2022/10/24】