元智大學加速半導體製程綠色化

【工商時報/傅秉祥】
　
元智大學機械系鐘國濱教授團隊規劃「先進質子交換膜水電解技術」製造低碳臭氧水系統，創新技術應用於晶圓清潔製程，可取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用，實踐半導體製程綠色化，獲得國科會科研創業計畫萌芽案肯定，成為在眾多生醫題材中，唯一與半導體產業接軌的科研創業計畫。

鐘國濱教授團隊發展先進質子交換膜水電解技術，將純水以低電壓製取臭氧，具備低能耗與製程簡單優勢，他表示半導體晶圓製造過程中如蝕刻、沉積、去光阻等，皆對晶圓表面造成污染，進而會影響晶圓品質，目前業界解決成熟晶圓製程表面污染使用之清潔製程為溼式法，透過使用硫酸、氫氟酸等化學藥劑處理晶圓表面污染，再使用大量去離子水洗滌，以避免殘留問題，然而此清潔製程將導致大量水資源使用與化學藥劑污染環境與傷害人體之問題。（待續）

20230315