表面輪廓儀

 

表面輪廓儀

Surface Profiler 1 Surface Profiler 2
英文名稱 Surface Profiler
功能說明 以探針進行物體表面輪廓測量
廠牌型號 KLA-TencorP-16+
儀器規格

1.最大水平掃描範圍:200mm

2.橫向解析度:X = 25nmY = 1µm

3.最大垂直掃描範圍:1mm

4.垂直解析度:< 1Å

5.掃瞄速度:2 μm/sec to   25 mm/sec

建構年分 2008
收費標準 開機費453元,額外加收13.61/
備註 1. 校外學術單位:基本收費標準 X 1.5
2. 校外營利單位:基本收費標準 X 3
關鍵字 RF/DC Sputter
放置位置 奈微米共同實驗室
管理者

機械工程學系/奈微米共同實驗室

沈炳臣博士

電話:03-4638800 分機:2479
 E-mail: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

 

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