【專利讓與及授權】教育部計畫產出專利公告(1件)-1111103

項次

技術名稱

專利證書號

摘要

專利期

1

具有微感測器及高分材料之燃料電池之製法

I329382

一種具有微感測器及高分子材料之燃料電池之製法,其包括下列步驟:一.沉積第一高分子材料層步驟、二.第一次曝光顯影步驟、三.沉積鉻層步驟、四.沉積金層步驟、五.移除第一光阻層步驟、六.沉積第二高分子材料層步驟、七.第二次曝光顯影步驟、八.電漿蝕刻步驟、九.移除第二光阻步驟以及十.完成步驟,如此兼具高分子材料可保護微感測器、可在特定位置上設置微感測器,以及整體製程成本較低等功效。

2010/08/21- 2026/08/14

讓受期限:2022/11/03-2023/02/02

連絡人:林彥芳小姐

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