【專利讓與及授權】教育部計畫產出專利公告(1件)-1111103

項次

技術名稱

專利證書號

摘要

專利期

1

具有微感測器及高分材料之燃料電池之製法

I329382

一種具有微感測器及高分子材料之燃料電池之製法，其包括下列步驟：一．沉積第一高分子材料層步驟、二．第一次曝光顯影步驟、三．沉積鉻層步驟、四．沉積金層步驟、五．移除第一光阻層步驟、六．沉積第二高分子材料層步驟、七．第二次曝光顯影步驟、八．電漿蝕刻步驟、九．移除第二光阻步驟以及十．完成步驟，如此兼具高分子材料可保護微感測器、可在特定位置上設置微感測器，以及整體製程成本較低等功效。

2010/08/21- 2026/08/14