電子束蒸鍍機

 

電子束蒸鍍機

E beam Evaporator 1 E beam Evaporator 2
英文名稱 E-beam Evaporator
功能說明 利用電子束轟擊並加熱靶材,使靶材表面材料蒸氣壓升高並進行鍍膜
廠牌型號 Junsun Technologies Co.EBS-500
儀器規格

1.極限壓力: 5 x 10-7   torr (within 12 hour)

2.操作壓力: 5 x 10-6 torr (within one hour)

3.試片最大尺寸:4″ (max.   7pc)

4.最高溫度:250°C

5.旋轉速率:2 to 40   rpm

建構年分 2008
收費標準 開機費907元,額外加收20.41/
備註 1. 校外學術單位:基本收費標準 X 1.5
2. 校外營利單位:基本收費標準 X 3
關鍵字 E-beam
放置位置 奈微米共同實驗室
管理者

機械工程學系/奈微米共同實驗室

沈炳臣博士

電話:03-4638800 分機:2479
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